■クリーン・高剛性を開発コンセプトに完成したハニカム定盤は内部ハニカムコア材にスチールハニカムを採用し、定盤の最も基本テーマである“高剛性”を実現しました。 また、ハニカム定盤は形成前に上下面の加工をしているため、内部に切削油や切りコの残留が無く非常にクリーンな仕上がりです。
■除振部は全方位対応空気ばねを採用し、高いレベルの除振性能を実現しました。
■メカニカルバルブ水平センサーはクリーンルーム対応型を採用しました。
■オプションで集中排気口、側面BAステンレス仕様、シールド加工(落下防止ボトム構造)も可能です。